알기쉬운 제품공정

자연상태에서 SiO₂로 존재하는 실리콘에서 O₂ 및 불순물을 제거한 분말 형태의 MG-Si를 HCl와 반응시키면 혼합 실란가스가 발생한다.
증류과정을 통해 STC(Silicontetrachloride:SiCl₄, 사염화실란) 등을 분리한다.

TCS 합성 공정에서 생산한 TCS(Trichlorosilane:SiHCl₃, 삼염화실란)를 정제해 고순도 TCS로 만든다.

Bell Jar 형태의 반응기에 고순도 TCS를 넣어 폴리실리콘 제품을 생산한다.
TCS의 Si 성분이 CVD (Chemical Vapor Deposition:화학기상증착) 반응을 통해 Filament에 증착되어 막대형 제품이 생성된다.
이 과정에서 발생되는 혼합 Gas는 성분별로 분리하여 재사용된다.

수확된 실리콘 rods를 적절한 크기로 깨뜨려서 chunk, chip 등 여러 형태의 폴리실리콘으로 나누어 포장하고 출하시킨다.